• <center id="aq2cu"></center>
    <sup id="aq2cu"><small id="aq2cu"></small></sup>
  • <rt id="aq2cu"><delect id="aq2cu"></delect></rt>
  • 400 011 5161

    當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  切記不可大意!安全使用原子沉積系統(tǒng)

    切記不可大意!安全使用原子沉積系統(tǒng)

    更新時(shí)間:2021-06-24      點(diǎn)擊次數(shù):1772
      原子沉積系統(tǒng)是一款緊湊型獨(dú)立的PC計(jì)算機(jī)控制的ALD原子層沉積系統(tǒng),帶Labview軟件,具備四級(jí)密碼控制的用戶授權(quán)保護(hù)功能。系統(tǒng)為全自動(dòng)的安全互鎖設(shè)計(jì),并提供了強(qiáng)大的靈活性,
     
      原子沉積系統(tǒng)的操作步驟:
     
      1、開機(jī):開普氮(壓力0.4-0.6MPa)、高純氮?dú)馄?壓力小于0.1MPa);開總電源;開水冷機(jī)。
     
      2、放樣品:點(diǎn)擊“進(jìn)氣”,待壓強(qiáng)升至1個(gè)大氣壓后,打開腔體,放入樣品。點(diǎn)擊“設(shè)置”,將流量重新設(shè)置為:20。
     
      3、開機(jī)械泵:先打開機(jī)械泵電源開關(guān),然后點(diǎn)擊“泵閥開”。4、設(shè)置溫度參數(shù):點(diǎn)擊“設(shè)置”,開始設(shè)置溫度參數(shù),例如1:200度;2:230度;11(水):50度,或者11(臭氧):0度;10(Al源):0度。循環(huán)次數(shù)根據(jù)需要設(shè)置。流量:20。點(diǎn)擊“確定”,開始加熱,加熱時(shí)間不少于45min。
     
      5、排水:加熱45min后,若之前用過水,而本次實(shí)驗(yàn)用臭氧,則需排水。點(diǎn)擊“模式1”,將前驅(qū)體4的脈沖時(shí)間設(shè)為:1000ms,清洗時(shí)間設(shè)為:5s,關(guān)閉小窗,點(diǎn)擊“開始”,n個(gè)循環(huán)后,點(diǎn)擊“結(jié)束”,排水完成。
     
      6、設(shè)置沉積模式參數(shù):點(diǎn)擊“模式1”或者“模式2”,設(shè)置前驅(qū)體和水(或者臭氧)的脈沖時(shí)間和清洗時(shí)間。以沉積氧化鋁為例,前驅(qū)體3為鋁源,前驅(qū)體4為水(或者臭氧),其他為空置,設(shè)置前驅(qū)體3的脈沖時(shí)間為:60ms,清洗時(shí)間設(shè)為:10s;設(shè)置前驅(qū)體4的脈沖時(shí)間為:50ms,清洗時(shí)間設(shè)為:30s。
     
      7、設(shè)置載氣流量和循環(huán)次數(shù):點(diǎn)擊“設(shè)置”,流量設(shè)置為:20;循環(huán)次數(shù)根據(jù)所需樣品厚度而定。
     
      8、開始實(shí)驗(yàn):打開相應(yīng)前驅(qū)體的手動(dòng)閥,如果使用臭氧作為反應(yīng)源,氣壓,開腔體,取出樣品。
     
      10、抽真空:點(diǎn)擊“泵閥開”,氣壓下降后,點(diǎn)擊“進(jìn)氣”,關(guān)閉高純氮的減壓閥,流量下降至1位數(shù)時(shí),點(diǎn)“設(shè)置”,將將流量重新設(shè)置為:0。
     
      (若下次實(shí)驗(yàn)換另外的源,則需排空,具體操作:點(diǎn)擊“泵閥開”,氣壓下降后,點(diǎn)擊“進(jìn)氣”,點(diǎn)擊“模式1”,將前驅(qū)體3的脈沖時(shí)間設(shè)為:500ms,清洗時(shí)間設(shè)為:5s,將前驅(qū)體4的脈沖時(shí)間設(shè)為:1000ms,清洗時(shí)間設(shè)為:10s,關(guān)閉小窗,點(diǎn)擊“開始”,100個(gè)循環(huán)后,點(diǎn)擊“結(jié)束”,排空完成。)
     
      11、關(guān)儀器:點(diǎn)擊“設(shè)置”,將1、2和11(水)的溫度設(shè)為:0,將所用源的溫度設(shè)為:0。點(diǎn)擊“泵閥關(guān)”,關(guān)機(jī)械泵,關(guān)總電源,關(guān)普氮、關(guān)水冷。
    主站蜘蛛池模板: 国产精品成人免费综合| 丁香伊人五月综合激激激| 俺来也俺去啦久久综合网| 国产婷婷综合在线视频中| 精品无码综合一区二区三区| 天堂久久天堂AV色综合| 色综合天天综一个色天天综合网 | 亚洲国产aⅴ综合网| 婷婷综合另类小说色区| 国产成人综合在线观看网站| 久久婷婷五月综合色高清| 小说区综合区首页| 亚洲av一综合av一区| 欧美日韩色另类综合| 狠狠色丁香婷婷综合尤物| 国产91色综合久久免费分享| 99精品国产综合久久久久五月天| 在线综合亚洲中文精品| 综合久久一区二区三区| 欧美激情综合亚洲一二区| 久久天天躁狠狠躁夜夜躁综合| 色综久久天天综合绕视看| 日韩综合无码一区二区| 日日狠狠久久偷偷色综合免费| 久久综合精品视频| 久久久久久综合一区中文字幕| 色综合久久天天综合观看| 色欲老女人人妻综合网| 婷婷色中文字幕综合在线| 2021精品国产综合久久| 久久久久噜噜噜亚洲熟女综合| 婷婷国产天堂久久综合五月| 熟女少妇色综合图区| 偷自拍视频区综合视频区| 亚洲狠狠爱综合影院婷婷| 亚洲av综合日韩| 亚洲综合色婷婷在线观看| 亚洲国产亚洲综合在线尤物| 一本久道久久综合| 日日狠狠久久偷偷色综合免费| 久热综合在线亚洲精品|